Senzorul de presiune este un fel de senzor de presiune care poate fi utilizat în oțel, chimic și alte câmpuri pentru a măsura presiunea și poate realiza controlul automat al presiunii atunci când este utilizat împreună cu regulatorul de presiune.
Senzor de presiune de siliciu de difuzie /introducere în principiu
Diffusion silicon pressure sensor is based on the principle of piezoresistive effect, using integrated process technology through doping and diffusion, along the characteristic crystal direction on the single crystal silicon wafer, to form a strain resistance to form a Wheatstone bridge.Using the elastic mechanical properties of silicon material, anisotropic micromachining is performed on the same silicon material, and a diffused silicon sensor integrating Sensionarea forței și detectarea conversiei electrice de forță este fabricată.
Presiunea senzorului difuz de presiune a siliconului acționează direct asupra diafragmei senzorului (oțel inoxidabil sau ceramică), determinând diafragma să producă o micro-displacere proporțională cu presiunea mediului, iar valoarea de rezistență a senzorului se modifică. Circuitul electronic detectează această schimbare și o transformă. Un semnal de măsurare standard corespunzător acestei presiuni este ieșit.
Caracteristici ale senzorului de presiune de siliciu de difuzie
1. Potrivit pentru realizarea emițătorilor la scară mică
Efectul piezoresistiv al rezistenței sensibile la forță a cipului de siliciu nu are o zonă moartă în intervalul scăzut în apropierea punctului zero, iar intervalul senzorului de presiune poate fi la fel de mic ca mai multe kPa.
2. Sensibilitate ridicată a ieșirii
Factorul de sensibilitate al rezistenței la tulpina de siliciu este de 50 până la 100 de ori mai mare decât cel al ecartamentului de tulpină metalică, astfel încât sensibilitatea senzorului corespunzător este foarte mare, iar raza de acțiune generală este de aproximativ 100mV. Prin urmare, nu există cerințe speciale pentru circuitul de interfață și este mai convenabil de utilizat.
3. Precizie înaltă
Deoarece sesizarea, conversia sensibilă și detectarea senzorului sunt realizate de aceeași componentă, nu există nicio legătură de conversie intermediară, iar erorile de repetabilitate și histereză sunt mici. Deoarece siliconul monocristalin în sine are o rigiditate ridicată și o deformare mică, se asigura o liniaritate bună.
4. Deoarece deformarea unisexuală a lucrării este la fel de scăzută ca ordinea micro-tulpinilor, deplasarea maximă a cipului elastic este de ordinul sub-micronului, deci nu există uzură, nici o oboseală, nici îmbătrânire, iar durata de viață este de la 1 × 107 ciclu de presiune, cu o performanță stabilă și o fiabilitate ridicată.
5. Datorită rezistenței excelente de coroziune chimică a siliciului, chiar și senzorii de presiune difuzie nevoluzat siliciu au capacitatea de a se adapta la diverse medii într-o măsură considerabilă.
6. Deoarece cipul adoptă un proces integrat și nu are componente de transmisie, este ca mărime mică și în greutate ușoară.
Precauții pentru senzor de presiune de siliciu de difuzie pentru utilizare
1. Când este selectat o gamă excesivă sau sub-rază, amplitudinea trebuie controlată în ± 30%FS.
2. Modul de presiune este împărțit în presiunea gabaritului, presiunea absolută și presiunea de etanșare, care pot fi selectate în mod rezonabil în funcție de nevoile.
3. Confirmați supraîncărcarea maximă a sistemului. Supraîncărcarea maximă a sistemului ar trebui să fie mai mică decât limita de protecție a supraîncărcării senzorului, altfel va afecta durata de viață a produsului și chiar va deteriora produsul.
4. Nu atingeți diafragma cu obiecte dure, în caz contrar, va determina ruperea diafragmei.
5. Materialul și procesul de fabricație a miezului de presiune negativă nu sunt aceleași cu presiunea pozitivă, astfel încât miezul de presiune negativă nu poate fi înlocuit cu miezul de presiune a gabaritului.
6. Vă rugăm să verificați cu atenție manualul de instrucțiuni înainte de instalare pentru a evita deteriorarea produsului cauzat de o instalare greșită.
7. Utilizarea inteligentă poate duce la pericol și vătămare corporală.
8. Nucleul este scos din carcasă și este interzis să tragă firele și picioarele tubului.
Aplicații senzor de presiune de siliciu de difuzie
Senzorii de presiune din siliciu de difuzie sunt utilizați în principal în sistemele de control al proceselor, instrumente de calibrare a presiunii, sisteme hidraulice, instrumente biomedicale, sisteme hidraulice și supape, măsurare la nivel de lichid, echipamente de refrigerare și industrii de control al HVAC. Se poate spune că toate industriile cu cerințe de automatizare ridicate pot utiliza senzori difuzați de presiune din siliciu.
Timpul post: 15-2022 august